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J-GLOBAL ID：200902190683483090   Reference number：97A0592144

Development of CH₄-Radio-Frequency-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Method with a Positively Self-Biased Electrode for Diamond-Like Carbon Film.

ダイヤモンド類似の炭素膜を作るための正に自己バイアスされた電極を使うCH₄ラジオ周波数プラズマ促進化学蒸着法の開発

Author (4)： INABA H (Hitachi Ltd., Yokohama, JPN) ,  KOKAKU Y (Hitachi Ltd., Kanagawa, JPN) ,  TERAKADO M (Hitachi Ltd., Kanagawa, JPN) ,  KATAOKA H (Hitachi Ltd., Kanagawa, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 36  Issue： 5A  Page： 2817-2821  Publication year： May. 1997 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Carbon ,...

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JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Magnetic materials  (NA04040H)

Reference (6)：

• 1) A. Bubenzer, B. Dischler, G. Brandt and P. Koidl: J. Appl. Phys. 54 (1983) 4590
• 2) L. Holland and S. M. Ojha: Thin Solid Films 38 (1976) L17.
• 3) K. Iechika, Y. Kokaku, M. Ootake, K. Abe, H. Tani and H. Inaba: IEEE Trans. Magn. 30 (1994) 4134.
• 4) B. N. Chapman: Glow Discharge Processes (John Wiley and Sons, New York, 1976).
• 5) Y. Kokaku, H. Inaba, H. Kataoka, K. Abe and M. Sunagawa: IEEE Japan IEMT Symp. (1993) p. 18.

Terms in the title (7)： ダイヤモンド ,  類似 ,  炭素膜 ,  自己バイアス ,  ラジオ ,  プラズマ促進化学蒸着 ,  開発