Art

J-GLOBAL ID：201302227151803767   Reference number：13A1165662

Variable Resonance Frequency Selection for Fishbone-Shaped Microelectromechanical System Resonator Based on Multi-Physics Simulation

マイクロ電気機械システムの魚骨型共振器ベースのマルチ物理シミュレーションにおける可変共振周波数選択

Author (4)： KURODA Shinjiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Naoya (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TANIGAWA Hiroshi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Kenichiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 52  Issue： 6,Issue 2  Page： 06GL14.1-06GL14.6  Publication year： Jun. 25, 2013 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *MEMS ,  *Computer Simulation ,  *resonator ,  *resonance frequency ,  force ,  oscillation mode ,  *selection ,  beam (structure) ,  bone ,  morphology (form) ,  *computer algorithm ,  matrix (mathematics) ,  Fish bone ,  transformation matrix ,  electrostatic force ,  *computer application ,  *utilization
Semi thesaurus term： マルチ物理シミュレーション ,  electrostatic force ,  resonance mode ,  周波数選択

JST classification (1)： Design,manufacturing,and components of robots  (IC04013A)

Reference (32)：

• 1) J. Wang, Z. Ren, and C.T.-C. Nguyen: IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 51 (2004) 1607.
• 2) Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C.T.-C. Nguyen: IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 55 (2008) 890.
• 3) H. Tanigawa, S. Makita, and K. Suzuki: IEEJ Trans. Electr. Electron. Eng. 5 (2010) 164.
• 4) J. Verd, A. Uranga, J. Teva, J.L. Lopez, F. Torres, J. Esteve, G. Abadal, F. Perez-Murano, and N. Barniol: IEEE Electron Device Lett. 27 (2006) 495.
• 5) K. Wang, A.-C. Wong, and C.T.-C. Nguyen: J. Microelectromech. Syst. 9 (2000) 347.

Terms in the title (7)： マイクロ ,  電気機械 ,  魚 ,  共振器 ,  マルチ ,  物理シミュレーション ,  共振周波数