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J-GLOBAL ID：201303019735996372

質量分析装置及び質量分析方法

Inventor： 西村 和茂 ,  橋本 雄一郎 ,  杉山 益之 ,  山田 益義 ,  諸熊 秀俊
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (3)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011282684
Publication number (International publication number)：2013134817
Application date： Dec. 26, 2011
Publication date： Jul. 08, 2013
Summary：

【課題】 効率的なイオン化と高感度の質量分析を両立する質量分析装置及び質量分析方法を提供する。【解決手段】 第一の電極と、第二の電極と、試料の導入部及び排出部を有し前記第一の電極と前記第二の電極との間に設けられている誘電体部と、からなるイオン源と、前記第一の電極と前記第二の電極の何れか一方に対して交流電圧を印可し、前記第一の電極と前記第二の電極との間で発生する放電により前記試料をイオン化する電源と、前記排出部から排出されたイオンを分析する質量分析部と、前記放電が発生する領域に対し光を照射する光照射部と、を備えることを特徴とする質量分析装置。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

第一の電極と、第二の電極と、試料の導入部及び排出部を有し前記第一の電極と前記第二の電極との間に設けられている誘電体部と、からなるイオン源と、 前記第一の電極と前記第二の電極の何れか一方に対して交流電圧を印可し、前記第一の電極と前記第二の電極との間で発生する放電により前記試料をイオン化する電源と、 前記排出部から排出されたイオンを分析する質量分析部と、 前記放電が発生する領域に対し光を照射する光照射部と、 を備えることを特徴とする質量分析装置。

IPC (2)：

H01J 49/10 ,  G01N 27/62

FI (2)：

H01J49/10 ,  G01N27/62 G

F-Term (8)：

2G041CA01 ,  2G041DA07 ,  2G041DA18 ,  2G041EA05 ,  2G041GA15 ,  5C038GG07 ,  5C038GG08 ,  5C038GG13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 放電イオン化電流検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-276091   Applicant：国立大学法人大阪大学, 株式会社島津製作所
• 混合気体成分分析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-252993   Applicant：日機装株式会社, トヨタ自動車株式会社
• 四重極型質量分析計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-216866   Applicant：アネルバ株式会社
• 質量分析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2010-095617   Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ