廃シリコンからのハロシランの製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：廣田雅紀 , 小澤誠次 , 東海裕作 , 大▲高▼ とし子 , ▲高▼津一也 , 堀内真
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011250812
Publication number (International publication number)：2013103872
Application date： Nov. 16, 2011
Publication date： May. 30, 2013
Summary：

【課題】シリコンウェハ製造用シリコンインゴットを砥粒として炭化ケイ素又はダイヤモンドを用いた砥粒方式により切削する際に発生する砥粒含有廃シリコンの処理物から高い収率でハロシランを製造する方法を提供すること。【解決手段】炭化ケイ素又はダイヤモンドからなる砥粒を含有する廃シリコン処理物を用いる方法であって、砥粒含有廃シリコンスラリーから砥粒を主成分とする固形分を分離することなくハロゲン化水素と反応させるハロシランの製造方法である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

シリコンに対して35質量%以上の炭化ケイ素又はシリコンに対して0.5質量%以上のダイヤモンドの存在下で、シリコン及びハロゲン化水素を反応させることを特徴とするハロシランの製造方法。

IPC (1)：

C01B 33/107

FI (1)：

C01B33/107 Z

F-Term (11)：

4G072AA15 , 4G072GG03 , 4G072HH01 , 4G072HH33 , 4G072HH40 , 4G072JJ02 , 4G072JJ13 , 4G072LL02 , 4G072MM01 , 4G072UU01 , 4G072UU02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

高純度シリコン金属のリサイクル方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2010-506105 Applicant：ノルスク・ヒドロ・アーエスアー
ハロシランの製造方法、固形分の精製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-149471 Applicant：シャープ株式会社, チッソ株式会社
トリクロロモノシランの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-112132 Applicant：ワツカー-ケミーゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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