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J-GLOBAL ID:201303057239198597

イオン誘起衝突電離検出器及びその使用

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 特許業務法人三枝国際特許事務所
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2012532373
Publication number (International publication number):2013506850
Application date: Oct. 01, 2010
Publication date: Feb. 28, 2013
Summary:
イオン誘起衝突電離検出器及びその使用に関するシステム、デバイス、及び方法が開示される。或る特定の実施の態様では、検出器は、1つ又は複数のウェルを有する誘電体層を備えることができる。ウェルの開口を収容するためのアパーチャを画定するアノード層を、誘電体層の一方の面上に配設することができ、固体抵抗性カソード等のカソードを、ウェルのそれぞれにおいて電界を与えるように、他方の面上に配設することができる。ウェル寸法等の種々の設計パラメーター並びに圧力及び高電圧等の動作パラメーターが開示される。或る特定の実施の態様では、こうしたイオン検出器は、正イオン等の電離生成物を検出するために、低圧ガス容積に結合することができる。こうしたシステムは、単一イオン計数能力を提供するように構成することができる。イオン検出器を実装することができる種々の例示的な用途も開示される。【選択図】図18
Claim (excerpt):
イオン誘起衝突電離検出器であって、 第1の面及び第2の面を有し、複数のアパーチャを画定するアノードと、 第1の面及び第2の面を有する誘電体層であって、該誘電体層の前記第1の面はアノードの前記第1の面に隣接して配置され、該誘電体層は約1mm〜50mmの厚さを有する、誘電体層と、 前記誘電体層を貫通して延在する複数のウェルであって、前記アノードの前記複数のアパーチャは、該複数のウェルと前記アノードの前記第2の面との間に開口を画定するように、該複数のウェルに対して配置される、複数のウェルと、 前記誘電体層の前記第2の面に隣接して配置されて、前記複数のウェルのそれぞれの底部を形成するカソードと、 を備えるイオン誘起衝突電離検出器。
IPC (1):
G01T 1/18
FI (3):
G01T1/18 A ,  G01T1/18 B ,  G01T1/18 D
F-Term (6):
2G088EE25 ,  2G088GG01 ,  2G088GG03 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ37
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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