検出器、インプリント装置及び物品製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：大塚康徳 , 高柳司郎 , 大塚康弘 , 木村秀二 , 下山治 , 永川行光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012220718
Publication number (International publication number)：2013102139
Application date： Oct. 02, 2012
Publication date： May. 23, 2013
Summary：

【課題】1つの検出器で2つの物体間の2方向における相対位置を高精度で検出する。【解決手段】第1マーク及び第2マークの一方は、y方向にP1の格子ピッチとx方向にP2の格子ピッチとを有する格子パターンを含み、第1マーク及び第2マークの他方は、x方向にP3の格子ピッチを有する格子パターンを含む。照明光学系は、その瞳面において、y方向に第1の極IL1とx方向に第2の極IL3、IL4とを含む光強度分布を形成し、第1の極から照明される光が第1マーク及び第2マークで回折した回折光は瞳面において検出光学系の開口に入射し、第2の極から照明される光が第1マーク及び第2マークで回折した回折光は瞳面において検出光学系の開口とは異なる場所に入射する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

第1物体と第2物体とのx方向及びy方向における相対的な位置を検出する検出器であって、第1物体に配置された第1マークと、第2物体に配置された第2マークとを照明する照明光学系と、前記照明光学系によって照明された前記第1マーク及び前記第2マークで回折された回折光同士の干渉光を検出する検出光学系と、を備え、前記第1マーク及び前記第2マークの一方は、y方向にP1の格子ピッチとx方向にP2の格子ピッチとを有する格子パターンを含み、前記第1マーク及び前記第2マークの他方は、x方向にP3の格子ピッチを有する格子パターンを含み、前記照明光学系は、その瞳面において、y方向に第1の極とx方向に第2の極とを含む光強度分布を形成し、前記第1の極から照明される光が前記第1マーク及び前記第2マークで回折した回折光は前記瞳面において前記検出光学系の開口に入射し、前記第2の極から照明される光が前記第1マーク及び前記第2マークで回折した回折光は前記瞳面において前記検出光学系の開口とは異なる場所に入射することを特徴とする検出器。

IPC (2)：

H01L 21/027 , B29C 59/02

FI (3)：

H01L21/30 502D , H01L21/30 502M , B29C59/02 Z

F-Term (15)：

4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209AP06 , 4F209AQ01 , 4F209AR07 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PN06 , 4F209PN13 , 4F209PQ11 , 5F146AA31 , 5F146FA09 , 5F146FB01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

位置合わせ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-255429 Applicant：株式会社ニコン
位置検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-003858 Applicant：株式会社ニコン
空間位相フィーチャ・ロケーション
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2010-536933 Applicant：モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド

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