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J-GLOBAL ID：200903000826772307

結像光学系の調整方法

Inventor：
福井 達雄

About 福井 達雄


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (2)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004222331
Publication number (International publication number)：2006041389
Application date： Jul. 29, 2004
Publication date： Feb. 09, 2006
Summary：
【課題】 調整用の光学素子の配置を感度良く微調整する。【解決手段】 第1ピッチで配列された複数の第1マークと、第1ピッチとは異なる第2ピッチで配列された複数の第2マークとを含む調整用マークに対し、所定の波長帯域の照明光を照射する(S5,S6)。調整用マークから発生する回折光のうち、開口絞りを通過して結像光学系の像面に到達した光に基づいて、画像を取り込む(S5,S6)。調整用マークの画像の輝度情報のうち、第1マークと第2マークに関わる輝度情報の対称/非対称性を加味し、第1マークと第2マークとの位置ずれ量を算出する(S5,S6)。照明光の波長帯域を変更する(S5,S6)。照明光の波長帯域が異なるときに算出した各々の位置ずれ量に基づいて、結像光学系の瞳面と開口絞り面との間に配置された調整用の光学素子を微調整し、開口絞り面における瞳像の結像位置ずれを補正する(S8,S9)。【選択図】 図10
Claim (excerpt)：
結像光学系の物体面に、所定の波長帯の落射照明光による±1次回折光束が前記結像光学系の瞳領域に内接するようなピッチ以上の第1のピッチで配列された第1のマークと、前記第1のピッチより小さい第2のピッチを有して配列された第2のマークとを、それぞれ前記結像光学系の視野中心に対して対称に配設し、 前記結像光学系で形成された前記第1のマークの像と前記第2のマークの像との相対位置に基づいて、前記結像光学系の瞳面と開口絞り面との間に配設された光学素子の位置を調整する ことを特徴とする結像光学系の調整方法。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00
FI (2)：
H01L21/30 525R ,  G03F9/00 H
F-Term (19)：
5F046CB04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB12 ,  5F046CB19 ,  5F046CC01 ,  5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046EA12 ,  5F046EB03 ,  5F046EC05 ,  5F046FA03 ,  5F046FA10 ,  5F046FB06 ,  5F046FB09 ,  5F046FB10 ,  5F046FB11 ,  5F046FB12 ,  5F046FB17 ,  5F046FC04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (5)
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