層間絶縁膜用及びオーバーコート用の樹脂、並びに感光性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩谷龍
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012191730
Publication number (International publication number)：2013053312
Application date： Aug. 31, 2012
Publication date： Mar. 21, 2013
Summary：

【課題】優れた表面硬度、付着力及び透過率を提供することができ、産業利用における要求を満たす、層間絶縁膜用及びオーバーコート用の樹脂、並びに感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明の樹脂は、エポキシ構造を含むアクリル系モノマーと、シランを含むアクリル系モノマーと、芳香族環を含むアクリル系モノマーと、前記のアクリル系モノマーとは異なるものから選ばれる不飽和カルボン酸及び/またはその酸無水物とを反応させてなる共重合体である。また、本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の樹脂と、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、光重合開始剤と、溶剤とを含む。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

エポキシ構造を含むアクリル系モノマーと、シランを含むアクリル系モノマーと、芳香族環を含むアクリル系モノマーと、前記のエポキシ構造を含むアクリル系モノマー、シランを含むアクリル系モノマー及び芳香族環を含むアクリル系モノマーとは異なるものから選ばれる不飽和カルボン酸及び/またはその酸無水物とを反応させた共重合体であることを特徴とする層間絶縁膜用及びオーバーコート用の樹脂。

IPC (4)：

C08F 220/32 , G03F 7/033 , G03F 7/075 , H01L 21/027

FI (5)：

C08F220/32 , G03F7/033 , G03F7/075 521 , H01L21/30 502R , H01L21/30 575

F-Term (28)：

2H125AC36 , 2H125AD06 , 2H125AE13P , 2H125AM22P , 2H125AM25P , 2H125AM32P , 2H125AN39P , 2H125CA11 , 2H125CA21 , 2H125CB02 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H125CD08P , 2H125CD38 , 4J100AJ02R , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08S , 4J100AL08T , 4J100BA77P , 4J100BC07Q , 4J100BC43T , 4J100BC54S , 4J100CA03 , 4J100DA01 , 4J100JA01 , 4J100JA38 , 5F146JA27

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-146704 Applicant：住友化学株式会社
スペーサー用感放射線性樹脂組成物ならびにスペーサーおよびその形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-080006 Applicant：JSR株式会社
感放射線性樹脂組成物、スペーサーとその製法および液晶表示素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-040377 Applicant：JSR株式会社

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