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J-GLOBAL ID：200903034148570890

層間絶縁膜用感光性樹脂組成物

Inventor：
中緒 卓

About 中緒 卓

, 
宮城 賢

About 宮城 賢

, 
杉本 安章

About 杉本 安章


Applicant, Patent owner：
東京応化工業株式会社

About 東京応化工業株式会社


Agent (1)： 正林 真之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007307588
Publication number (International publication number)：2009133891
Application date： Nov. 28, 2007
Publication date： Jun. 18, 2009
Summary：
【課題】より高い絶縁性を有する層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂成分(A)及び感光剤(B)を含む層間絶縁膜用感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂成分(A)が酸性基含有構成単位(a1)、架橋性基含有構成単位(a2)及びアルコキシシリル基含有構成単位(a3)を含む共重合体(A1)を含む。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
アルカリ可溶性樹脂成分(A)及び感光剤(B)を含む層間絶縁膜用感光性樹脂組成物であって、 前記アルカリ可溶性樹脂成分(A)が酸性基含有構成単位(a1)、架橋性基含有構成単位(a2)及びアルコキシシリル基含有構成単位(a3)を含む共重合体(A1)を含む、層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。
IPC (6)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/075 ,  H01L 21/027 ,  C08F 230/08 ,  C08F 220/26
FI (6)：
G03F7/023 ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/075 ,  H01L21/30 502R ,  C08F230/08 ,  C08F220/26
F-Term (24)：
2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB34 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA77R ,  4J100BC43Q ,  4J100BC54P ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA37
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (5)
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