熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012116362
Publication number (International publication number)：2013012286
Application date： May. 22, 2012
Publication date： Jan. 17, 2013
Summary：

【課題】製造工程途中のできるだけ早い段階で熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光または近接場光発光部の物理形状の検査を行うことができるようにする。【解決手段】熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置において、試料である熱アシスト磁気ヘッド素子を走査プローブ顕微鏡装置の平面内で移動可能なテーブルに載置し、試料の近接場光発光部から近接場光を発生させ、探針を有する走査プローブ顕微鏡のカンチレバーを試料の表面の近傍で上下に振動させた状態でテーブルを平面内で移動させることにより熱アシスト磁気ヘッド素子から発生させた近接場光による散乱光を検出し、検出した散乱光に基づく近接場光の発生位置情報を用いてローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から発光する近接場光の強度分布又は近接場光発光部の表面形状を検査するようにした。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

熱アシスト磁気ヘッド素子を検査する検査装置であって、試料である熱アシスト磁気ヘッド素子を載置して平面内で移動可能なテーブル手段と、該テーブル手段に載置された試料の表面を走査する探針を備えたカンチレバーと、該カンチレバーを前記試料の表面に対して上下方向に振動させる振動駆動手段と、該振動駆動手段により振動させられている前記カンチレバーの前記探針が形成されている側と反対側の面に光を照射して前記カンチレバーからの反射光を検出することにより前記カンチレバーの振動を検出する変位検出手段と、前記熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から近接場光を発生させるための信号を出力する信号出力手段と、該信号出力手段から出力された信号により前記熱アシスト磁気ヘッド素子の前記近接場光発光部から発生した近接場光の発生領域内に前記カンチレバーの探針が入ったときに前記カンチレバーの表面から発生する散乱光を検出する散乱光検出手段と、前記試料を載置したテーブル手段の位置情報と前記散乱光検出手段で前記散乱光を検出して得た信号とを用いて前記熱アシスト磁気ヘッド素子の前記近接場光発光部から発生する近接場光の発生の状態の良否を判定する処理手段とを備えたことを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置。

IPC (6)：

G11B 5/455 , G01Q 80/00 , G01Q 60/54 , G01Q 60/22 , G11B 5/31 , G11B 5/02

FI (6)：

G11B5/455 C , G01Q80/00 101 , G01Q60/54 101 , G01Q60/22 101 , G11B5/31 Z , G11B5/02 T

F-Term (4)：

5D033BA71 , 5D033CA00 , 5D091AA10 , 5D091CC26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

磁気デバイス検査装置および磁気デバイス検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-185839 Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ
走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-042242 Applicant：株式会社日立製作所
軟化点測定装置および熱伝導測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-187479 Applicant：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

Show all

Return to Previous Page