走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：筒井大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009042242
Publication number (International publication number)：2010197208
Application date： Feb. 25, 2009
Publication date： Sep. 09, 2010
Summary：

【課題】プローブと試料の双方にダメージを与えることなく、ナノメートルオーダの分解能でかつ高い再現性と高いSN比で、試料表面の光学情報及び凹凸情報を測定することを可能とする走査プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査プローブ顕微鏡において、内部に金属構造物が埋め込まれた測定探針として、ナノチューブ1と金属ナノ粒子2a、2b、2cを組み合わせてナノメートルオーダの光学分解能を有するプラズモン増強近接場プローブを構成し、高効率なプラズモン励起部に搭載して試料上の各測定点で低接触力での接近・退避を繰り返すことにより、プローブと試料の双方にダメージを与えることなく、ナノメートルオーダの分解能でかつ高い再現性と高いSN比で、試料表面の光学情報及び凹凸情報を測定する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

内部に金属構造物が埋め込まれた測定探針と、前記測定探針を支持するカンチレバーと、前記カンチレバーを駆動して前記測定探針を検査対象試料に対して相対的に3次元的に走査するカンチレバー駆動手段と、前記カンチレバーの変形を検出する変位検出手段と、前記測定探針と前記検査対象試料の表面との間に近接場光を発生させて前記検査対象試料の表面の近接場光画像を取得する近接場光画像取得手段とを備えたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01Q 60/22 , G01Q 70/12

FI (2)：

G01N13/14 101B , G01N13/10 111K

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-322722 Applicant：株式会社日立製作所
赤外光集光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-188508 Applicant：科学技術振興事業団
ナノチューブプローブ及び製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-315231 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社

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