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J-GLOBAL ID:201303082381140304
ガラス基板もしくは水晶基板からなるワークの貼り合わせ方法および装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長澤 俊一郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012039754
Publication number (International publication number):2013173654
Application date: Feb. 27, 2012
Publication date: Sep. 05, 2013
Summary:
【課題】接合の一様性の確保でき、ワークの光学性能の劣化を抑制することができ、加圧するための加圧機構を必要としないワークの貼り合わせ方法および装置を提供すること。【解決手段】、結晶基板とガラス基板、もしくはガラス基板とガラス基板からなる第1および第2のワークW1,W2の接合面に光照射ユニット10から波長200nm以下の真空紫外光を照射する。そして、搬送機構CによりワークW1,W2をワーク洗浄・積層機構に搬送し、必要に応じて接合面をメガソニック洗浄し、接合面同士を対向させて位置合わせを行い、接合面同士が接触するように積層する。積層後、積層したワークをワーク加熱機構に搬送して加熱し、ワーク温度を所定温度まで昇温させて、接合が完了するまでこの温度を維持する。積層されたワークは加熱されると熱膨張状態となり、この状態のまま接合される。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
ガラス基板とガラス基板、ガラス基板と水晶基板もしくは水晶基板と水晶基板からなり、
少なくとも一方の面が光学研磨されている第1及び第2のワークの光学研磨されている面
同士を貼り合わせる方法であって、
両ワークの貼り合わせる面に波長250nm以下の紫外光を照射し、
光照射後、両ワークの上記貼り合わせる面同士が接触するように積層し、
積層後、両ワークを温度200°C以上で加熱する
ことを特徴とするワークの貼り合わせ方法。
IPC (3):
C03C 27/06
, C30B 29/18
, C30B 33/06
FI (3):
C03C27/06
, C30B29/18
, C30B33/06
F-Term (13):
4G061AA25
, 4G061BA05
, 4G061BA12
, 4G061CA02
, 4G061CD02
, 4G061DA05
, 4G061DA06
, 4G061DA09
, 4G061DA29
, 4G077AA02
, 4G077BB03
, 4G077FF07
, 4G077FH08
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
-
圧電デバイスの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-301410
Applicant:松下電器産業株式会社
-
複合圧電基板とその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-028993
Applicant:松下電器産業株式会社
-
光照射窓
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2009-272368
Applicant:京セラキンセキ株式会社
Cited by examiner (2)
-
圧電デバイスの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-301410
Applicant:松下電器産業株式会社
-
複合圧電基板とその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-028993
Applicant:松下電器産業株式会社
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