ガラス基板もしくは水晶基板からなるワークの貼り合わせ方法および装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長澤俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012039754
Publication number (International publication number)：2013173654
Application date： Feb. 27, 2012
Publication date： Sep. 05, 2013
Summary：

【課題】接合の一様性の確保でき、ワークの光学性能の劣化を抑制することができ、加圧するための加圧機構を必要としないワークの貼り合わせ方法および装置を提供すること。【解決手段】、結晶基板とガラス基板、もしくはガラス基板とガラス基板からなる第1および第2のワークW1,W2の接合面に光照射ユニット10から波長200nm以下の真空紫外光を照射する。そして、搬送機構CによりワークW1,W2をワーク洗浄・積層機構に搬送し、必要に応じて接合面をメガソニック洗浄し、接合面同士を対向させて位置合わせを行い、接合面同士が接触するように積層する。積層後、積層したワークをワーク加熱機構に搬送して加熱し、ワーク温度を所定温度まで昇温させて、接合が完了するまでこの温度を維持する。積層されたワークは加熱されると熱膨張状態となり、この状態のまま接合される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ガラス基板とガラス基板、ガラス基板と水晶基板もしくは水晶基板と水晶基板からなり、少なくとも一方の面が光学研磨されている第1及び第2のワークの光学研磨されている面同士を貼り合わせる方法であって、両ワークの貼り合わせる面に波長250nm以下の紫外光を照射し、光照射後、両ワークの上記貼り合わせる面同士が接触するように積層し、積層後、両ワークを温度200°C以上で加熱することを特徴とするワークの貼り合わせ方法。

IPC (3)：

C03C 27/06 , C30B 29/18 , C30B 33/06

FI (3)：

C03C27/06 , C30B29/18 , C30B33/06

F-Term (13)：

4G061AA25 , 4G061BA05 , 4G061BA12 , 4G061CA02 , 4G061CD02 , 4G061DA05 , 4G061DA06 , 4G061DA09 , 4G061DA29 , 4G077AA02 , 4G077BB03 , 4G077FF07 , 4G077FH08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

圧電デバイスの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-301410 Applicant：松下電器産業株式会社
複合圧電基板とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-028993 Applicant：松下電器産業株式会社
光照射窓
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-272368 Applicant：京セラキンセキ株式会社

Cited by examiner (2)

圧電デバイスの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-301410 Applicant：松下電器産業株式会社
複合圧電基板とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-028993 Applicant：松下電器産業株式会社

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