光照射窓

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009272368
Publication number (International publication number)：2011113952
Application date： Nov. 30, 2009
Publication date： Jun. 09, 2011
Summary：

【課題】真空紫外光を均一に透過することができ、生産性のよい光照射窓の製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】人工水晶からなる平板11,12,13の接合される部分、例えば、人工水晶からなる平板11,12,13の所定の側面11a,12a,13a,12bを研磨する研磨工程と、この人工水晶からなる平板11,12,13の所定の側面11a,12a,13a,12bをはり合わせて仮接合する仮接合工程と、はり合わされた人工水晶からなる平板11,12,13を加熱して接合する本接合工程とからなることを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

人工水晶からなる平板の接合される部分を研磨する研磨工程と、前記人工水晶からなる平板同士をはり合わせて仮接合する仮接合工程と、はり合わされた前記人工水晶からなる平板を加熱して接合する本接合工程と、からなることを特徴とする光照射窓の製造方法。

IPC (4)：

H01J 9/24 , H01L 21/304 , B24B 1/00 , B24B 9/00

FI (4)：

H01J9/24 C , H01L21/304 648Z , B24B1/00 B , B24B9/00 601B

F-Term (7)：

3C049CA06 , 3C049CB01 , 5C012EE10 , 5F157BG43 , 5F157BG49 , 5F157CF32 , 5F157CF62

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (10)

イオン電池およびシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-054780 Applicant：株式会社日立製作所
水晶種子及びこれを用いた人工水晶の育成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-234179 Applicant：日本電波工業株式会社
水晶振動子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-202631 Applicant：日本電波工業株式会社

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