往復動機構を備えた真空装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：高田幸彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2005104062
Publication number (International publication number)：2006281085
Patent number：5088767
Application date： Mar. 31, 2005
Publication date： Oct. 19, 2006
Claim (excerpt)：

【請求項1】対象物を内部に配設する真空容器と、該真空容器内に配設した遮へい体と、該遮へい体を貫通し、一方端が前記対象物に連結された駆動軸と、該駆動軸の他方端が連結され、前記真空容器の外部に配置され、前記駆動軸を往復動駆動する駆動装置と、を備えた真空装置において、前記真空容器の外部で、前記駆動装置が取り付けられ、該駆動装置の軸心と前記駆動軸の軸心とが軸心合せを行う位置決め機構によって位置決めされ、前記遮へい体に取り付けられた第1の真空フランジと、該第1の真空フランジ上方にあって前記駆動軸が固定されて、該駆動装置によって往復動方向に駆動される第2の真空フランジと、第1の真空フランジと第2の真空フランジとを接続し、真空保持するものであって、前記真空容器の外部に設けられた第1のベローズと、前記真空容器と第1の真空フランジの間に、傾斜して配置されて、真空保持する第2のベローズとを有して構成され、第2のベローズが、前記駆動装置の軸心と前記駆動軸の軸心との軸心合わせに伴って軸心方向に対して直角方向に発生した力を吸収するようにしたことを特徴とする往復動機構を備えた真空装置。

IPC (4)：

B01J 3/00 ( 200 6.01) , F16J 3/04 ( 200 6.01) , C23C 14/50 ( 200 6.01) , F04B 37/16 ( 200 6.01)

FI (4)：

B01J 3/00 L , F16J 3/04 B , C23C 14/50 K , F04B 37/16 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

直動機構を持つ処理容器を備えた処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-107472 Applicant：住友重機械工業株式会社
圧力空間仕切り構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-095742 Applicant：富士通株式会社
成膜装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-019270 Applicant：株式会社村田製作所

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