Art

J-GLOBAL ID：201402238355380856   Reference number：14A0606896

Low-temperature synthesis of oriented CoPtCu-MgO and CoFePt-Ag-SiO₂ nanocomposite thin films by rf-magnetron sputtering

rfマグネトロンスパッタリングによる配向したCoPtCu-MgOおよびCoFePt-Ag-SiO₂ナノ複合材料薄膜の低温合成

Author (3)： SATO Kazuhisa (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ.) ,  KOSAKA Tamotsu (Dep. of Materials Sci., Tohoku Univ.) ,  KONNO Toyohiko J. (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ.)
Material： Journal of the Ceramic Society of Japan (Web)  (J Ceram Soc Jpn (Web))
Volume： 122  Issue： 1425  Page： 317-321 (J-STAGE)  Publication year： 2014 
JST Material Number： U0409A  ISSN： 1348-6535  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *cobalt base alloy ,  platinum containing alloy ,  copper containing alloy ,  iron containing alloy ,  *magnesium oxide ,  *Nanocomposites ,  *composite film ,  sputtered deposition ,  magnetron sputtering ,  low temperature ,  nano particle ,  crystal orientation ,  ordering
Semi thesaurus term： RF magnetron sputtering

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (24)：

• 1) D. Weller and M. F. Doerner, Annu. Rev. Mater. Sci., 30, 611–644 (2000).
• 2) T. Oikawa, M. Nakamura, H. Uwazumi, T. Shimatsu, H. Muraoka and Y. Nakamura, IEEE Trans. Magn., 38, 1976–1978 (2002).
• 3) B. D. Terris and T. Thomson, J. Phys. D Appl. Phys., 38, R199–R222 (2005).
• 4) M. H. Kryder, E. C. Gage, T. W. McDaniel, W. A. Challener, R. E. Rottmayer, G. Ju, Y. Hsia and M. F. Erden, Proc. IEEE, 96, 1810–1835 (2008).
• 5) K. Coffey, M. A. Parker and J. K. Howard, IEEE Trans. Magn., 31, 2737–2739 (1995).

Terms in the title (8)： RFマグネトロンスパッタリング ,  配向 ,  MgO ,  Ag ,  SiO2 ,  ナノ複合材料 ,  薄膜 ,  低温合成