Art

J-GLOBAL ID：201402255526182898   Reference number：14A0804279

High-speed Response of SOI Lateral PIN-type Photodiode Fabricated by CMOS Compatible Process

CMOS互換プロセスによるSOI横型PIN光検出器の高速応答特性

Author (4)： LI Gen (金沢大 大学院自然科学研究科) ,  MAEKITA KAZUAKI (金沢大 大学院自然科学研究科) ,  MARUYAMA TAKEO (金沢大 大学院自然科学研究科) ,  IIYAMA KOICHI (金沢大 大学院自然科学研究科)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 114  Issue： 46(LQE2014 1-16)  Page： 1-4  Publication year： May. 15, 2014 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： semiconductor process ,  CMOS structure ,  *photodiode ,  PIN junction ,  printed board ,  *SOI structure ,  response characteristic ,  *SOI substrate ,  MOS structure
Semi thesaurus term： CMOS process ,  *p-i-n photodiodes

JST classification (1)： Semiconductor integrated circuit  (NC03162T)

Reference (7)：

• D. A. B. Miller, "Device requirements for optical interconnects to silicon chips," Proc. IEEE, vol. 97, no. 7, pp. 1166-1185, Jul. 2009.
• J. Van Campenhout, P. R. Romeo, P. Regreny, C. Seassal, D. V. Thourhout, S. Verstuyft, L. Di Cioccio, J.-M. Fedeli, C. Lagahe, and R. Baets, "Electrically pumped InP-based microdisk lasers integrated with a nanophotonic silicon-on-insulator waveguide circuit," Opt. Exp., vol. 15, no. 11, pp. 6744-6749, May 2007.
• S. Arai, N. Nishiyama, T. Maruyama, and T Okumura, "GaInAsP/InP membrane lasers for optical interconnects," IEEE J. Sel. Top. Quantm Electron., vol. 17, no. 5, pp. 1381-1389, Sep./Oct. 2011.
• C. L. Schow, R. Li, J. D. Schaub, and J. C. Campbell, "Design and implementation of high-speed planar Si photodiodes fabricated on SOI substrates," IEEE J. Quantum Electron., vol. 35, no. 10, pp. 1478-1482, Oct. 1999.
• K. Iiyama, H. Takamatsu, and T. Maruyama, "Hole-injection-type and electron-injection-type silicon avalanche photodiodes fabricated by standard 0.18 μm CMOS process," IEEE Photon. Technol. Lett., vol. 22, no. 12, pp. 932-934, Jun. 2010.

Terms in the title (6)： CMOS ,  プロセス ,  SOI ,  横型 ,  光検出器 ,  応答特性