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J-GLOBAL ID:201403033712088509
蛍光顕微鏡検査法における照明位相制御のためのシステムおよび方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5):
小野 新次郎
, 小林 泰
, 竹内 茂雄
, 山本 修
, 宮前 徹
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2013556581
Publication number (International publication number):2014508969
Application date: Feb. 29, 2012
Publication date: Apr. 10, 2014
Summary:
構造化照明顕微鏡検査法において使用される構造化照明のパターンを正確で迅速に位相制御する照明位相制御部が、述べられる。コヒーレント光源を使用してコヒーレント光のビームを発生し、それは、光の少なくとも3つのコヒーレントビームに分岐させる。一態様では、照明位相制御部は、ビームの少なくとも1つに少なくとも1つの位相シフトを加えるための少なくとも1つのペアの回転可能なウインドウからなる。対物レンズは、ビームを受光して、干渉縞を形成するように少なくとも3つのビームを合焦することになる。位相制御部は、少なくとも1つのビームに加えられる少なくとも1つの位相シフトを変化させることによって、干渉縞の位置を変化させるために使用することができる。【選択図】図7A
Claim (excerpt):
顕微鏡検査法器具であって、
光の単色ビームを受光して、前記ビームを少なくとも3つの別々のコヒーレントビームに分岐させるためのスプリッタと、
少なくとも1つの回転可能なウインドウを含む照明位相制御部であって、前記少なくとも1つの回転可能なウインドウは、前記少なくとも1つのビームに少なくとも1つの位相シフトを加えることになる、照明位相制御部と、
前記少なくとも3つのビームを合焦して、干渉縞を形成するための対物レンズであって、前記位相制御部は、前記少なくとも1つのビームの少なくとも1つの経路に対して回転させる前記少なくとも1つの回転可能なウインドウを用いて、前記干渉縞の位置を変化させることになる、対物レンズとを含む、器具。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (15):
2G043EA01
, 2G043FA01
, 2G043GA02
, 2G043GB01
, 2G043GB28
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043JA03
, 2G043JA04
, 2G043LA03
, 2H052AA04
, 2H052AC04
, 2H052AC18
, 2H052AC27
, 2H052AD31
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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格子照明顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-280408
Applicant:株式会社ニコン
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構造化照明光学系、及びそれを備えた構造化照明顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-104045
Applicant:株式会社ニコン
-
位相補償システムとそれを用いたレーザ走査型顕微鏡システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-071118
Applicant:オリンパス株式会社
-
波面評価方法及び波面評価用プログラム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-329507
Applicant:株式会社ニコン
-
光断層画像化方法および装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-096793
Applicant:富士フイルム株式会社, フジノン株式会社
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