ゲッター部材収納具、ゲッター装置及びゲッターポンプ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡本啓三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014011506
Publication number (International publication number)：2014159809
Application date： Jan. 24, 2014
Publication date： Sep. 04, 2014
Summary：

【課題】ヒータからの輻射熱を効率良く利用し、かつ、ゲッター部材の活性化を均一に行うことができるゲッターポンプを提供する。【解決手段】容器11と、容器11内に収容されて、複数のディスク状のゲッター部材14が、縦置きに、かつ1以上の階層を形成して収納されたゲッター装置13と、容器11内に収容されて、ゲッター装置13に収納されたゲッター部材14に対面するように配置され、ゲッター部材14を加熱する加熱手段12とを有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材を収納するゲッター部材収納具。

IPC (1)：

F04B 37/02

FI (1)：

F04B37/02 A

F-Term (5)：

3H076AA24 , 3H076BB21 , 3H076BB43 , 3H076CC46 , 3H076CC55

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

物理的蒸着プロセスにおける作業雰囲気を高純度化するためのゲッタシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-364353 Applicant：サエス・ゲテルス・ソチエタ・ペル・アチオニ
特開昭55-105999
ゲッターポンプとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-017570 Applicant：株式会社東芝

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