光吸収測定用レーザ光源およびそれを用いた光吸収測定装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：特許業務法人谷・阿部特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013117393
Publication number (International publication number)：2014235103
Application date： Jun. 03, 2013
Publication date： Dec. 15, 2014
Summary：

【課題】レーザ光の出力変動および共振器構造がもたらす干渉による強度分布を取り除くことが可能で、吸収線位置の特定が容易な、高感度で小型化可能な光吸収測定を実現する光吸収用レーザ光源およびそれを用いた測定装置を提供すること。【解決手段】光吸収測定用レーザ光源100は、周期的に分極反転された構造を持つ光導波路からなる波長変換素子105、励起光として1.06μmの波長を出力するDFB型半導体レーザ101、信号光として1.39μmの波長を出力するDFB型半導体レーザ102、波長変換素子から出力された光を分岐するハーフミラー106、5%の濃度のH2O(水)を封じ込めた小型の参照セル107から構成されている。参照セル107は被測定物質であるN2Oガスを含んでいない。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光吸収測定用レーザ光源であって、 2つ以上の出力周波数の異なる半導体レーザ、前記各半導体レーザからの出力光を合波する合波器、前記合波器から出力された出力光が入射する、周期的に分極反転された非線形光学材料からなる波長変換素子、前記波長変換素子から出力された出力光を分岐する分岐手段、前記分岐手段で分岐された第1の分岐光を出力する第1の出力ポート、前記分岐手段で分岐された第2の分岐光が入射する参照物質が入った参照セル、および前記参照セルを透過した透過光を出力する第2の出力ポート、を備え、前記参照物質は、前記第1の出力ポートから出射される出力光を用いて被測定物質を測定した結果から検出されない物質である、光吸収測定用レーザ光源と、前記被測定物質が入ったマルチパスセルと、前記マルチパスセルを透過した前記第1の出力ポートから出射された出力光を検出する第1の光検出器と、前記第2の出力ポートから出射された出力光を検出する第2の光検出器と、前記第1の光検出器の測定結果と前記第2の光検出器の測定結果との強度をそろえ、前記第1の光検出器の測定結果から前記第2の光検出器の測定結果を引くことにより、前記波長変換素子の干渉縞を除去する信号処理装置と、を備えたことを特徴とする光吸収測定装置。

IPC (4)：

G01N 21/39 , G02F 1/377 , G01N 21/350 , G01N 21/01

FI (4)：

G01N21/39 , G02F1/377 , G01N21/35 101 , G01N21/01 D

F-Term (24)：

2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059CC04 , 2G059CC05 , 2G059EE01 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059GG09 , 2G059HH01 , 2G059HH08 , 2K102AA07 , 2K102AA35 , 2K102BA18 , 2K102BB02 , 2K102BC01 , 2K102BD09 , 2K102CA10 , 2K102DA04 , 2K102DA10 , 2K102DA20 , 2K102DD05 , 2K102EB02 , 2K102EB20 , 2K102EB22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

ガス測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-020894 Applicant：横河電機株式会社
レーザ光によるガスの分光分析方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-187817 Applicant：日本酸素株式会社
光吸収分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-258756 Applicant：日本電信電話株式会社

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