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J-GLOBAL ID：200903092332369080

ガス測定装置

Inventor：
植田 敏嗣

About 植田 敏嗣

, 
杉山 直

About 杉山 直


Applicant, Patent owner：
横河電機株式会社

About 横河電機株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002020894
Publication number (International publication number)：2003222591
Application date： Jan. 30, 2002
Publication date： Aug. 08, 2003
Summary：
【要約】【課題】 小型、安価で測定精度の高いアンモニアガス測定装置を提供する。【解決手段】 λ1の波長を出力する第1レーザ光源と、λ2の波長を出力する第2レーザ光源と、これら2つの波長を入力し、少なくとも測定対象ガスに対する吸収波長λ3を生成して出力する非線形結晶と、この非線形結晶から出力した光のうち前記λ3の波長を通過させるフィルタと、このフィルタを通過したレーザ光を入力する被測定ガスが導入されたガスセルと、このガスセルを透過した光を受光する受光素子を備えたガス測定装置であって、前記ガスセル内の圧力を0.3気圧以下に下げた状態で被測定ガス濃度を測定する。
Claim (excerpt)：
λ1の波長を出力する第1レーザ光源と、λ2の波長を出力する第2レーザ光源と、これら2つの波長を入力し、少なくとも測定対象ガスに対する吸収波長λ3を生成して出力する非線形結晶と、この非線形結晶から出力した光のうち前記λ3の波長を通過させるフィルタと、このフィルタを通過したレーザ光を入力する被測定ガスが導入されたガスセルと、このガスセルを透過した光を受光する受光素子を備えたガス測定装置であって、前記ガスセル内の圧力を0.3気圧以下に下げた状態で被測定ガス濃度を測定することを特徴とするガス測定装置。
IPC (4)：
G01N 21/35 ,  G01J 3/02 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/03
FI (4)：
G01N 21/35 Z ,  G01J 3/02 C ,  G01N 21/01 D ,  G01N 21/03 B
F-Term (43)：
2G020AA03 ,  2G020BA02 ,  2G020BA12 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CB55 ,  2G020CC32 ,  2G020CC48 ,  2G020CD04 ,  2G020CD22 ,  2G020CD39 ,  2G057AA01 ,  2G057AB02 ,  2G057AB06 ,  2G057AC03 ,  2G057BA05 ,  2G057BB01 ,  2G057BB10 ,  2G057BC05 ,  2G057DA03 ,  2G057DC07 ,  2G057GA01 ,  2G057JA20 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC20 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059GG01 ,  2G059GG09 ,  2G059HH01 ,  2G059HH08 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ24 ,  2G059KK01 ,  2G059LL03 ,  2G059MM05 ,  2G059MM14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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