試料ホルダおよび走査型透過電子顕微鏡

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：井島藤治
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2010039978
Publication number (International publication number)：2011175908
Patent number：5351074
Application date： Feb. 25, 2010
Publication date： Sep. 08, 2011
Claim (excerpt)：

【請求項1】試料が載置される試料載置部をピエゾ素子によりXYZ軸方向に駆動するXYZ駆動機構を有した試料ホルダにおいて、前記試料ホルダの軸方向をX軸、電子ビームの光軸方向をZ軸、前記X軸、前記Z軸と直交する方向をY軸とした場合、前記試料載置部に設けられ、前記試料載置部の試料を前記Y軸を中心として傾斜させる傾斜機構と、該傾斜機構を駆動するモータと、該モータの出力軸と前記傾斜機構との間に配置され、前記XYZ駆動機構の動きが前記傾斜機構を介して前記モータへ伝達するのを遮断するクラッチと、を有し、前記XYZ駆動機構は、前記試料載置部に接続され、駆動電圧の印加による収縮動作作用により前記試料載置部をX軸方向に駆動し、駆動電圧の印加による首振り作用により前記試料載置部をY軸、Z軸方向に駆動するチューブピエゾ素子を有し、前記モータの出力軸は前記チューブピエゾ素子の円筒内に配置されており、前記傾斜機構は、前記試料が載置され、Y軸を中心に回転可能に設けられた試料傾斜台と、 X-Z平面上で回転可能に設けられ、X-Z平面上で前記試料傾斜台に接続される第1アーム、X-Z平面上で前記第1アームと異なる方向へ延出する第2アームを有するベルクランクと、前記試料傾斜台の回転端部、前記ベルクランクの第1アームのうちのどちらか一方に設けられたピンと、前記試料傾斜台の回転端部、前記ベルクランクの第1アームのうちの他方に設けられ、前記ピンが嵌合する長穴と、前記モータによって前記X軸を中心として回転駆動され、Y-Z平面側の端面が傾斜面となった斜面カム,前記ベルクランクの第2アームを前記斜面カムのカム面に押し当てる付勢手段からなる駆動部とからなり、前記クラッチは、前記モータの出力軸、前記傾斜機構の傾斜カムに設けられた入力軸のうちのどちらか一方の軸の端面に形成されたすり割り溝と、前記モータ側の出力軸、前記傾斜機構の傾斜カムに設けられた入力軸のうちの他方の軸に形成され、前記すり割り溝に対して周方向に遊びをもって嵌合する接続部とからなることを特徴とする試料ホルダ。

IPC (1)：

H01J 37/20 ( 200 6.01)

FI (2)：

H01J 37/20 C , H01J 37/20 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

試料ホルダ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-279439 Applicant：日本電子株式会社
試料ホルダ、試料保持部材装着ホルダおよび試料保持部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-358082 Applicant：日本電子株式会社
電子顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-239784 Applicant：株式会社日立製作所

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