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J-GLOBAL ID：201403093622787761

ゲッターポンプ

Inventor： 間瀬 一彦 ,  菊地 貴司
Applicant, Patent owner： 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
Agent (2)： 杉村 憲司 ,  岡野 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012276912
Publication number (International publication number)：2014118940
Application date： Dec. 19, 2012
Publication date： Jun. 30, 2014
Summary：

【課題】フランジの厚み方向の長さを低減し、ゲッターポンプの配置場所の自由度を向上させることができるゲッターポンプを提供する。【解決手段】非貫通穴11を有する真空フランジ10と、線状の加熱部材20と、線状の加熱部材20を貫通させる貫通穴31を有するドーナツ状の複数の非蒸発ゲッター材30と、を有し、線状の加熱部材20を貫通させた複数の非蒸発ゲッター材30を、真空フランジ10の非貫通穴11の底面12に沿って同一平面上に配置することを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

非貫通穴を有する真空フランジと、 線状の加熱部材と、 前記線状の加熱部材を貫通させる貫通穴を有するドーナツ状の複数の非蒸発ゲッター材と、 を有し、 前記線状の加熱部材を貫通させた複数の非蒸発ゲッター材を、前記真空フランジの前記非貫通穴の底面に沿って同一平面上に配置することを特徴とするゲッターポンプ。

IPC (2)：

F04B 37/02 ,  F04B 37/16

FI (2)：

F04B37/02 A ,  F04B37/16 C

F-Term (4)：

3H076AA24 ,  3H076BB38 ,  3H076CC52 ,  3H076CC99

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• ゲッタポンプモジュール及びシステム
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平8-519076   Applicant：セイスピュアガスインコーポレイテッド
• 非蒸発型ゲッターポンプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-195658   Applicant：有限会社真空実験室