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J-GLOBAL ID：201403097676899889

光学デバイス、光学デバイスの製造方法および露光装置

Inventor：
岡▲崎▼ 雅英

About 岡▲崎▼ 雅英

, 
栖原 敏明

About 栖原 敏明


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (3)： 振角 正一 ,  梁瀬 右司 ,  大西 一正
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014135571
Publication number (International publication number)：2014219685
Application date： Jul. 01, 2014
Publication date： Nov. 20, 2014
Summary：
【課題】強誘電体結晶により構成される強誘電体基板に周期分極反転構造が形成される光学デバイスに関し、その強誘電体結晶の薄膜化および周期分極反転構造の高精度化を可能とする。【解決手段】単分極化された強誘電体結晶により構成された強誘電体基板11の一方主面S1Aと、支持基板14の一方主面S1Bとの間に接合部13を介在させて強誘電体基板11を支持基板14で支持しながら一体化しているので、上記した平面研磨処理により強誘電体基板11、つまり強誘電体結晶を薄膜化することができ、その結果、周期分極反転構造を薄くすることができる。そして、こうして薄膜化された強誘電体基板11に対し、上記したように電圧印加法により分極反転部を形成する。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
第1分極方向と、前記第1分極方向とは反対方向の第2分極方向に周期的に分極した周期分極反転構造を有する強誘電体結晶により構成された強誘電体基板と、 支持基板と、 前記強誘電体基板の一方主面と、前記強誘電体基板の一方主面と対向する前記支持基板の一方主面とに挟まれて前記強誘電体基板を前記支持基板で支持しながら一体化させる接合部と、 を備え、 前記接合部は、前記強誘電体基板の一方主面に形成された第1金属層と、前記支持基板の一方主面に形成された第2金属層とを接合させた導電層であり、 前記第1金属層および前記第2金属層には、前記周期分極反転構造における前記第1分極方向に分極した部分の周期と一致するパターンが形成される、光学デバイス。
IPC (5)：
G02F 1/03 ,  G02F 1/29 ,  G02F 1/377 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (5)：
G02F1/03 505 ,  G02F1/29 ,  G02F1/377 ,  H01L21/30 529 ,  G03F7/20 501
F-Term (34)：
2H097AA03 ,  2K102AA08 ,  2K102AA22 ,  2K102AA32 ,  2K102BA01 ,  2K102BA07 ,  2K102BA18 ,  2K102BB01 ,  2K102BB02 ,  2K102BB04 ,  2K102BC01 ,  2K102BC04 ,  2K102BD00 ,  2K102BD10 ,  2K102CA18 ,  2K102CA21 ,  2K102CA29 ,  2K102DA01 ,  2K102DA03 ,  2K102DA04 ,  2K102DA05 ,  2K102DA10 ,  2K102DA20 ,  2K102DC04 ,  2K102DD05 ,  2K102EA02 ,  2K102EA09 ,  2K102EA18 ,  2K102EA21 ,  2K102EB04 ,  2K102EB10 ,  2K102EB20 ,  5F146BA07 ,  5F146CB35
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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