Art

J-GLOBAL ID：201502216795941994   Reference number：15A0841920

Evaluation on two-port configuration of a Lame-mode octagonal microelectromechanical systems resonator driven by sliding driving electrodes

摺動駆動電極によるLameモード正八角マイクロエレクトロメカニカルシステム共振器の2ポート構成の評価

Author (4)： TSUJISHITA Katsuhiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TANIGAWA Hiroshi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  FURUTSUKA Takashi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Kenichiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 54  Issue： 6S1  Page： 06FP05.1-06FP05.5  Publication year： Jun. 2015 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *resonator ,  MEMS ,  electrode ,  slip (mechanics) ,  spring (machine element) ,  *voltage ,  resonance (vibration) ,  oscillation mode ,  sliding
Semi thesaurus term： *MEMS resonator ,  *pull-in voltage ,  drive voltage

JST classification (1)： Resonator  (NC04050Y)

Reference (32)：

• M. Hikita, N. Matsuura, K. Yokoyama, N. Shibagaki, and K. Sakiyama, IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 50, 2629 (2002).
• J. Wang, Z. Ren, and C. T.-C. Nguyen, IEEE Trans. Ultrason. 51, 1607 (2004).
• F. Nabki, K. Allidina, F. Ahmad, P.-V. Cicek, and M. N. El-Gamal, IEEE J. Solid-State Circuits 44, 2154 (2009).
• H. Tanigawa, S. Makita, and K. Suzuki, IEEJ Trans. Electr. Electron. Eng. 5, 164 (2010).
• S. Kuroda, N. Suzuki, H. Tanigawa, and K. Suzuki, J. Appl. Phys. 52, 06GL14 (2013).

Terms in the title (6)： 摺動 ,  駆動電極 ,  マイクロエレクトロメカニカルシステム ,  共振器 ,  ポート ,  評価