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J-GLOBAL ID：201503000404371235
3次寄生収差の補正方法および荷電粒子線装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
ポレール特許業務法人
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011103950
Publication number (International publication number)：2012234755
Patent number：5743698
Application date： May. 09, 2011
Publication date： Nov. 29, 2012
Claim (excerpt)：
【請求項1】 第1の多極子レンズと第2の多極子レンズの間に伝達レンズを配置した球面収差補正装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記第1の多極子レンズへ入射する荷電粒子線を光軸に対して傾斜させるように荷電粒子線を偏向させる第1の偏向手段と、
前記第2の多極子レンズへ入射する荷電粒子線を光軸に対して傾斜させるように荷電粒子線を偏向させる第2の偏向手段と、
前記第2の多極子レンズを出射した荷電粒子線を光軸上に振り戻すように荷電粒子線を偏向させる第3の偏向手段と、
前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段と前記第3の偏向手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、4回対称3次非点収差に影響を与えずに2回対称3次スター収差を補正する、あるいは2回対称3次スター収差に影響を与えずに4回対称3次非点収差を補正するように、前記第1の多極子レンズへ入射する荷電粒子線の光軸に対する傾斜角に対し、前記第2の多極子レンズへ入射する荷電粒子線の光軸に対する傾斜角が連動して変化するように、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段に制御信号を供給することを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (2)：
H01J 37/153 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
H01J 37/153 A
, H01J 37/28 C
