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J-GLOBAL ID：201203023826336723
荷電粒子線の軸合わせ方法及び荷電粒子線装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010255836
Publication number (International publication number)：2012109076
Application date： Nov. 16, 2010
Publication date： Jun. 07, 2012
Summary：
【課題】少なくとも三段の多極子に対する荷電粒子線の軸合わせ方法、及び当該軸合わせが可能な荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】少なくとも3つの非点場を発生し、隣接する前記非点場の軸ずれによる同次数且つ同種の非点収差が相殺されるように、各前記荷電粒子線の軌道および各前記非点場の分布のうちの少なくとも1つの群内のそれぞれを、前記光軸に垂直な方向に沿って同時に平行移動する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
荷電粒子線装置における荷電粒子線の軸合わせ方法であって、
少なくとも3つの非点場を発生し、
隣接する前記非点場の軸ずれによる同次数且つ同種の非点収差が相殺されるように、各前記荷電粒子線の軌道および各前記非点場の分布のうちの少なくとも1つの群内のそれぞれを、前記光軸に垂直な方向に沿って同時に平行移動する
ことを特徴とする荷電粒子線の軸合わせ方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J37/04 B
, H01J37/153 A
5C030AA07
, 5C030AA08
, 5C030AA09
, 5C030AB01
, 5C030AB02
, 5C033HH01
, 5C033HH03
Cited by examiner (3)
-
収差補正装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2008-107375
Applicant：日本電子株式会社
-
荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置における収差補正器の軸合わせ方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2005-026291
Applicant：日本電子株式会社
-
電子線装置における自動軸調整方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2007-209905
Applicant：日本電子株式会社
Article cited by the Patent：
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