複合センサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平井安雄
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011111403
Publication number (International publication number)：2012242210
Patent number：5811588
Application date： May. 18, 2011
Publication date： Dec. 10, 2012
Claim (excerpt)：

【請求項1】対向して配設される一対の平板電極で圧電体を挟んで形成され、一方の前記平板電極を測定対象物が接近及び接触するように配設された第1の構造体と、前記第1の構造体に対向して配設され、少なくとも平板電極を有する第2の構造体と、前記第1の構造体と前記第2の構造体との間に挟持され、外力に対して弾性を有し、密度が略均一である誘電体と、前記第1の構造体の平板電極と前記第2の構造体の平板電極との間の静電容量を検知する静電容量検知手段とを備え、前記第1の構造体における一方の前記平板電極が前記誘電体に接触して配設され、他方の前記平板電極が測定対象物が接近及び接触されるように配設されており、前記測定対象物の前記第1の構造体への接近を、前記第1の構造体における1対の平板電極のうち、前記誘電体側に配設されている平板電極がグランドに接続され、前記静電容量検知手段が、前記第1の構造体の測定対象物側に配設されている平板電極と前記第2の構造体の平板電極との間の静電容量を測定することで検知し、前記測定対象物の前記第1の構造体への接触を、前記第1の構造体における1対の平板電極のうち、前記測定対象物側に配設されている平板電極がグランドに接続され、前記静電容量検知手段が、前記第1の構造体の誘電体側に配設されている平板電極と前記第2の構造体の平板電極との間の静電容量を測定することで検知することを特徴とする複合センサ。

IPC (4)：

G01V 11/00 ( 200 6.01) , G01L 1/14 ( 200 6.01) , G01L 1/04 ( 200 6.01) , G01L 1/16 ( 200 6.01)

FI (4)：

G01V 11/00 , G01L 1/14 J , G01L 1/04 , G01L 1/16 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

微小電気機械式装置及び半導体装置、並びにそれらの作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-270280 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所
特開平2-072585
人体検出装置及びそれを用いた水栓装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-139093 Applicant：TOTO株式会社