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J-GLOBAL ID:201503005193774798

熱交換部材

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2014061975
Publication number (International publication number):2015182930
Application date: Mar. 25, 2014
Publication date: Oct. 22, 2015
Summary:
【課題】熱交換効率が向上し、かつ、半導体ウエハや液晶ガラスなどの製造物の汚染や循環式ポンプ等の設備故障の要因となる脱粒が少なく信頼性の向上した熱交換部材を提供する。【解決手段】アルミナ質焼結体からなり、流体との熱交換に用いられる熱交換部材10であって、前記流体との接触面における粗さ曲線から求められるクルトシス(Rku)が3〜9の熱交換部材。【選択図】図1
Claim (excerpt):
アルミナ質焼結体からなり、流体との熱交換に用いられる熱交換部材であって、前記流体との接触面における粗さ曲線から求められるクルトシス(Rku)が3を超えて9以下であることを特徴とする熱交換部材。
IPC (2):
C04B 35/10 ,  H01L 23/473
FI (2):
C04B35/10 Z ,  H01L23/46 Z
F-Term (7):
4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030BA21 ,  4G030CA04 ,  4G030GA27 ,  5F136CB06 ,  5F136FA14
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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