走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた測定方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：井上学 , 戸田裕二 , 岩崎重美
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011082396
Publication number (International publication number)：2012220191
Patent number：5802417
Application date： Apr. 04, 2011
Publication date： Nov. 12, 2012
Claim (excerpt)：

【請求項1】カンチレバーに光を照射し、前記カンチレバーにプラズモンを発生させ、前記プラズモンを前記カンチレバー先端に伝搬させ、前記カンチレバー先端と試料との間に近接場光を励起させ、近接場光と試料の相対位置を走査し、試料による近接場光の散乱光を検出することにより、試料の形状と光学特性を観察する走査プローブ顕微鏡の測定方法であって、近接場光を励起するレーザー光及び試料に変調を印加することにより近接場光を変調させ、近接場光と試料の相対距離を変動させ、近接場光に印加した変調の周波数と、近接場光と試料の相対距離を変動させる周波数によって発生する干渉信号を選択的に抽出することを特徴とする走査プローブ顕微鏡を用いた測定方法。

IPC (1)：

G01Q 60/18 ( 201 0.01)

FI (1)：

G01Q 60/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-332323 Applicant：株式会社ニコン
走査型近接場光学顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-122198 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
近接場光学顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-001026 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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