レンズ駆動装置およびレーザ加工装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：酒井宏明
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012076164
Publication number (International publication number)：2013202679
Patent number：5745448
Application date： Mar. 29, 2012
Publication date： Oct. 07, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光して被加工物に照射する加工レンズと、前記加工レンズを保持するレンズホルダと、前記レンズホルダを、静圧空気軸受けを用いて浮上させ、かつ前記レンズホルダを、前記レンズホルダの主面と平行な平面内に配置された電磁石により前記加工レンズの主面と平行な平面内で駆動するアクチュエータと、前記レンズホルダの位置を測定する変位計と、各前記電磁石へ流す電流が等しい状態で前記レンズホルダが停止する電気的な中心位置を検出するとともに、前記変位計を用いて測定されたレンズホルダの位置に基づいて前記レンズホルダの中心位置である測定中心位置を検出する信号処理装置と、を備え、前記信号処理装置は、前記レンズホルダの電気的な中心位置と前記測定中心位置との間の位置ずれ量を算出するとともに、前記位置ずれ量を補正した位置に前記レンズホルダが移動するよう前記アクチュエータに電流を流すことを特徴とするレンズ駆動装置。

IPC (3)：

B23K 26/04 ( 201 4.01) , B23K 26/00 ( 201 4.01) , B23K 26/14 ( 201 4.01)

FI (3)：

B23K 26/04 , B23K 26/00 M , B23K 26/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

トレパニングヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-159566 Applicant：住友重機械工業株式会社
平行移動装置およびこれを用いた露光装置のレンズ移動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-037421 Applicant：キヤノン株式会社
特公平6-003438

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