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J-GLOBAL ID：201503013070071530

ガス吸光度測定装置

Inventor：
松田 直樹

About 松田 直樹


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 特許業務法人京都国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013181842
Publication number (International publication number)：2015049168
Application date： Sep. 03, 2013
Publication date： Mar. 16, 2015
Summary：
【課題】試料セル内に該試料セルの透過光強度に影響を及ぼすような現象が発生した場合でもその影響を排除して、試料ガス中の特定ガス成分の濃度を正確に求めることができるガス吸光度測定装置を提供する。【解決手段】本発明のガス吸光度測定装置10は、試料ガスを収容する試料セル12、試料ガスに含まれる目的成分の吸収波長を有するレーザ光を出射する第1光源14、目的成分の吸収波長とは異なる波長のレーザ光を出射する第2光源16、第1光源14から出射されたレーザ光及び第2光源16から出射されたレーザ光を、試料セル12内の同一光路上を通過させる結合光学系を備え、試料セル12を通過した光のうち第1光源14からのレーザ光の強度を第1検出器221で、試料セル12を通過した光のうち第2光源16からのレーザ光の強度を第2検出器222でそれぞれ検出し、第2検出器222の検出信号を用いて、第1検出器221の検出信号を補正する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
a) 試料ガスを収容する試料セルと、 b) 前記試料ガス中の目的成分の吸収波長を有するレーザ光を出射する第1光源と、 c) 前記目的成分の吸収波長とは異なる波長のレーザ光を出射する第2光源と、 d) 前記第1光源から出射されたレーザ光及び前記第2光源から出射されたレーザ光を、前記試料セル内の同一光路上を通過させる結合光学系と、 e) 前記試料セルを通過した光のうち前記第1光源からのレーザ光の強度を検出する第1検出器と、 f) 前記試料セルを通過した光のうち前記第2光源からのレーザ光の強度を検出する第2検出器と、 g) 前記第2検出器の検出信号を用いて、前記第1検出器の検出信号を補正するノイズ補正処理手段と を備えることを特徴とするガス吸光度測定装置。
IPC (2)：
G01N 21/350 ,  G01N 21/39
FI (2)：
G01N21/35 101 ,  G01N21/39
F-Term (21)：
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG09 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK03 ,  2G059MM01 ,  2G059NN01 ,  2G059NN05 ,  2G059PP04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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