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J-GLOBAL ID：201503014035961903

検査装置、検査方法、プログラムおよびその記録媒体

Inventor：
藤枝 紫朗

About 藤枝 紫朗


Applicant, Patent owner：
オムロン株式会社

About オムロン株式会社


Agent (2)： 増井 義久 ,  比村 潤相
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014051936
Publication number (International publication number)：2015175706
Application date： Mar. 14, 2014
Publication date： Oct. 05, 2015
Summary：
【課題】欠陥の過検出を低減するとともに、エッジ部の欠陥を適切に検出する。【解決手段】検査画像の各画素が欠陥画素であるかを検査画像とモデル画像との比較結果に基づいて判定する第1判定処理と、検査画像の注目画素の画素値と複数の上記モデル画像間でのばらつきの程度を示す統計値を用いて規定される閾値との比較結果に基づいて行い、第1判定処理で欠陥画素と判定された画素のうち、エッジ画素であり、かつ第2判定処理で非欠陥画素と判定された画素を非欠陥画素とする。【選択図】図5
Claim (excerpt)：
検査対象物を撮像して取得した検査画像に基づいて上記検査対象物に欠陥が存在するか否かを検出する検査装置であって、 上記検査画像の各画素が欠陥画素であるか非欠陥画素であるかを上記検査画像と予め登録されたモデル画像との比較結果に基づいて判定する第1判定処理と、 上記モデル画像からエッジ画素を抽出するエッジ抽出処理と、 上記検査画像の各画素のうち、上記第1判定処理で欠陥画素と判定され、かつ上記エッジ抽出処理で当該画素に対応する画素がエッジ画素として抽出されなかった画素に対して当該画素が欠陥画素であるか非欠陥画素であるかを上記第1判定処理とは異なる判定方法で判定する第2判定処理とを行う制御部を備え、 上記制御部は、 上記第2判定処理を、検査画像の注目画素の画素値と複数の上記モデル画像における上記注目画素に対応する画素の画素値の上記モデル画像間でのばらつきの程度を示す統計値を用いて規定される閾値との比較結果に基づいて行い、 上記第1判定処理で欠陥画素と判定された画素のうち、上記第2判定処理で非欠陥画素と判定された画素については非欠陥画素とし、 非欠陥画素の検出結果に基づいて上記検査対象物に欠陥が存在するか否かを判定することを特徴とする検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  G06T 9/20
FI (3)：
G01N21/88 J ,  G06T1/00 300 ,  G06T9/20
F-Term (31)：
2G051AA01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02 ,  2G051ED08 ,  2G051ED09 ,  2G051ED11 ,  2G051ED22 ,  5B057AA02 ,  5B057CA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB01 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CH11 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC08 ,  5B057DC16 ,  5B057DC32
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (5)
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