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J-GLOBAL ID:201303053763895712

外観検査装置、外観検査方法及びコンピュータプログラム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 福永 正也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011289940
Publication number (International publication number):2013140040
Application date: Dec. 28, 2011
Publication date: Jul. 18, 2013
Summary:
【課題】良否判定のための判定閾値を設定する基準となる画像群に不良品の画像が混入することを防止し、ひいては検査精度の低下を防止することが可能な外観検査装置、外観検査方法、及びコンピュータプログラムを提供する。【解決手段】良品とされる画像群を構成する複数の画像の入力を受け付けて記憶しておき、記憶された複数の画像に基づいて、検査対象物の欠陥部分を検出するための欠陥閾値を設定する。設定された欠陥閾値に基づいて、記憶されている複数の画像それぞれについて、検査対象物の良否判定を行うための判定閾値と比較する欠陥量を算出し、パラメトリック手法又はノンパラメトリック手法のうち、少なくとも1つを用いて、算出した欠陥量が外れ値であるか否かを検定する。外れ値であると検定された欠陥量を有する画像を特定する外れ値情報を表示出力する。【選択図】図5
Claim (excerpt):
検査対象物を撮像した画像を、良品とされる画像群と比較して良否判定を行う外観検査装置において、 良品とされる画像群を構成する複数の画像の入力を受け付けて記憶する画像入力手段と、 記憶された複数の画像に基づいて、検査対象物の欠陥部分を検出するための欠陥閾値を設定する閾値設定手段と、 設定された欠陥閾値に基づいて、記憶されている複数の画像それぞれについて、検査対象物の良否判定を行うための判定閾値と比較する欠陥量を算出する欠陥量算出手段と、 算出した欠陥量が、それぞれ外れ値であるか否かを統計処理により検定する外れ値検定手段と、 外れ値であると検定された欠陥量を有する画像を特定する外れ値情報を表示出力する情報表示手段と を備えることを特徴とする外観検査装置。
IPC (1):
G01N 21/93
FI (1):
G01N21/93
F-Term (22):
2G051AA01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB11 ,  2G051AC21 ,  2G051BC01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA21 ,  2G051EA23 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED08 ,  2G051ED09 ,  2G051FA01
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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