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J-GLOBAL ID：201503017320768449
透明導電膜及び透明導電膜付き基板
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
秋山 敦
, 城田 百合子
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2010265776
Publication number (International publication number)：2012117093
Patent number：5680386
Application date： Nov. 29, 2010
Publication date： Jun. 21, 2012
Claim (excerpt)：
【請求項1】 アルミニウム又はガリウムの少なくとも一方が1〜10wt%の範囲で含まれた酸化亜鉛からなり、透明基板上に形成された透明導電膜であって、
該透明導電膜は、Arガス及びH2ガスのみを含むガス雰囲気中、基板温度20°C以上230°C以下で、スパッタリング法により形成され、
単位結晶格子のc軸方向の格子定数が5.23〜5.28Åの範囲にあり、
a軸方向の格子定数が3.24〜3.26Åの範囲にあり、密度が5.55〜5.65g/cm3の範囲にあり、
かつ、
可視光域における透過率が85%以上であり、
波長550nmにおける屈折率が1.75〜1.80の範囲にあり、
比抵抗が8.0×10-4Ω・cm以下であることを特徴とする透明導電膜。
IPC (3)：
C23C 14/08 ( 200 6.01)
, H01B 5/14 ( 200 6.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
C23C 14/08 C
, H01B 5/14 A
, C23C 14/34 K
