Pat

J-GLOBAL ID：201503099364193296

計測装置および計測方法

Inventor： 外山 潔 ,  高増 潔 ,  高橋 哲
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン ,  国立大学法人 東京大学
Agent (1)： 龍華国際特許業務法人
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2010042774
Publication number (International publication number)：2011179891
Patent number：5646861
Application date： Feb. 26, 2010
Publication date： Sep. 15, 2011
Claim (excerpt)：

【請求項1】 対象面に向かって光ビームを投射する投射部と、 前記対象面で反射された前記光ビームを受光して前記対象面の局所的な傾斜により局所的形状を特定する特定部と、 前記光ビームの投射角度を維持しつつ前記光ビームを並進させる並進部と、 前記光ビームの並進に伴って前記特定部が順次特定する前記局所的形状を蓄積して、前記対象面の連続的形状を算出する算出部と、 前記光ビームの投射角度を変更する変更部と、 前記変更部が前記投射角度を第一角度から第二角度に変更した場合に、前記特定部に、前記第一角度による前記対象面への投射位置に前記第二角度により前記光ビームを投射させ、且つ、当該投射位置における局所的形状を再び特定させる制御部と を備え、前記対象面の形状を計測する計測装置。

IPC (1)：

G01B 11/24 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01B 11/24 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 表面形状測定装置及び表面形状測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-284709   Applicant：レーザーテック株式会社
• 三次元形状測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-061745   Applicant：株式会社ニコン
• 特開昭61-267728
  
• 特開昭57-111403
  
• 複数の距離センサを有する測定装置、この測定装置のための校正手段および表面の形状を決定するための方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2007-519611   Applicant：ブンデスレプブリーク・ドイチュラントフェアトレーテン・ドゥルヒ・ダス・ブンデスミニステリウム・フューア・ビルトシャフト・ウント・テヒノロギーディーセス・フェアトレーテン・ドゥルヒ・デン・プレズィデ
• 計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-098194   Applicant：株式会社ニコン
• 表面形状測定装置および表面形状測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-353099   Applicant：キヤノン株式会社