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J-GLOBAL ID：201602239743745484   Reference number：16A0477220

マイクロチャネル内面への非晶質炭素膜の成膜

Author (2)： HIRATA YUKI (東大) ,  CHOI Junho (東大 工)
Material： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集(CD-ROM)
Volume： 2016  Issue： 春  Page： ROMBUNNO.E25  Publication year： 2016 
JST Material Number： Y0047C  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *carbon material ,  *micro channel ,  constitution ,  *thin film growth ,  surface modification ,  scanning electron microscope ,  Raman spectrometry ,  *film deposition ,  *amorphous carbon
Semi thesaurus term： SEM (microscope) ,  spectral ratio ,  *film formation ,  *amorphous carbon

JST classification (2)： Lubrication in general  (QB02010S) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Terms in the title (4)： マイクロチャネル ,  非晶質 ,  炭素膜 ,  成膜