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J-GLOBAL ID：201602280578969658   Reference number：16A0388427

Role of low-energy ion irradiation in the formation of an aluminum germanate layer on a germanium substrate by radical-enhanced atomic layer deposition

ラジカル増強原子層蒸着によるゲルマニウム基板上のゲルマニウム酸アルミニウムの形成における低エネルギーイオン照射の役割

Author (10)： FUKUDA Yukio (Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN) ,  YAMADA Daichi (Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN) ,  YOKOHIRA Tomoya (Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN) ,  YANACHI Kosei (Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN) ,  YAMAMOTO Chiaya (Univ. of Yamanashi, 4-3-11 Takeda, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN) ,  YOO Byeonghak (Univ. of Yamanashi, 4-3-11 Takeda, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN) ,  YAMANAKA Junji (Univ. of Yamanashi, 7-32 Miyamae, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN) ,  SATO Tetsuya (Univ. of Yamanashi, 4-3-11 Takeda, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN) ,  TAKAMATSU Toshiyuki (SST Inc., 989-6 Shimadadai, Yachiyo, Chiba 276-0004, JPN) ,  OKAMOTO Hiroshi (Hirosaki Univ., 3 Bunkyo, Hirosaki 036-8561, JPN)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science and Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films)
Volume： 34  Issue： 2  Page： 02D101-02D101-4  Publication year： Mar. 2016 
JST Material Number： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： chemical vapor deposition ,  *radical ,  *plasma CVD ,  plasma ,  Oxygen ,  *surface reaction ,  *germanate ,  *aluminum compound ,  ion ,  Langmuir probe ,  plasma parameter ,  evaporated film ,  ion irradiation ,  *radiation effect ,  *ion radiation effect ,  plasma potential ,  microwave plasma ,  oxygen radical ,  low energy ion ,  parameter
Semi thesaurus term： Langmuir probe ,  *ラジカル増強原子層蒸着 ,  リモートマイクロ波誘起プラズマ ,  atomic layer deposition

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (8)： ラジカル ,  増強 ,  原子層蒸着 ,  ゲルマニウム基板 ,  ゲルマニウム酸 ,  アルミニウム ,  低エネルギーイオン ,  役割