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J-GLOBAL ID：201603000904955893

光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法

Inventor：
豊田 光紀

About 豊田 光紀


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (5)： 大野 聖二 ,  小林 英了 ,  加藤 真司 ,  鈴木 守 ,  大谷 寛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015165058
Publication number (International publication number)：2016026306
Application date： Aug. 24, 2015
Publication date： Feb. 12, 2016
Summary：
【課題】光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置を提供する。【解決手段】照明光学装置は、入射光束に基づいて所定面に輪帯状の光強度分布を形成するための光束変換素子50を備えている。光束変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて、入射光束に基づいて輪帯状の光強度分布のうちの第1円弧状領域分布を形成するための第1基本素子50Aと、第2円弧状領域分布を形成するための第2基本素子50Bと、第3円弧状領域分布を形成するための第3基本素子50Cと、第4円弧状領域分布を形成するための第4基本素子50Dとにより構成されている。各基本素子は光の透過方向に沿った厚さが互いに異なる。【選択図】図11
Claim (excerpt)：
入射光束に基づいて所定面に所定の光強度分布を形成するための光束変換素子において、 旋光性を有する光学材料により形成されて、前記入射光束に基づいて前記所定の光強度分布のうちの第1領域分布を形成するための第1基本素子と、 旋光性を有する光学材料により形成されて、前記入射光束に基づいて前記所定の光強度分布のうちの第2領域分布を形成するための第2基本素子と、を備え、 前記第1基本素子と前記第2基本素子とは、光の透過方向に沿った厚さが互いに異なることを特徴とする光束変換素子。
IPC (3)：
G03F 7/20 ,  G02B 19/00 ,  G02B 5/30
FI (4)：
G03F7/20 502 ,  G03F7/20 521 ,  G02B19/00 ,  G02B5/30
F-Term (29)：
2H052BA01 ,  2H052BA02 ,  2H052BA06 ,  2H052BA12 ,  2H149AA21 ,  2H149AB26 ,  2H149DA01 ,  2H149DA06 ,  2H149FA44Y ,  2H149FC09 ,  2H197AA12 ,  2H197BA07 ,  2H197BA08 ,  2H197BA09 ,  2H197BA10 ,  2H197CA08 ,  2H197CB03 ,  2H197CB16 ,  2H197CB17 ,  2H197CB20 ,  2H197CB26 ,  2H197DB02 ,  2H197DB05 ,  2H197DC02 ,  2H197DC12 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (14)
  • 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2014-158994   Applicant：株式会社ニコン
  • 露光装置および露光方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-345162   Applicant：日本電気株式会社
  • 投影露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-201649   Applicant：株式会社ニコン
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Cited by examiner (18)
  • 露光装置および露光方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-345162   Applicant：日本電気株式会社
  • 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2014-158994   Applicant：株式会社ニコン
  • 投影露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-201650   Applicant：株式会社ニコン
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