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J-GLOBAL ID：201603004735526827

表面検査装置および表面検査方法

Inventor：
加藤 邦人

About 加藤 邦人

, 
伊藤 優太

About 伊藤 優太


Applicant, Patent owner：
国立大学法人岐阜大学

About 国立大学法人岐阜大学


Agent (2)： 山本 喜幾 ,  山田 健司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015038571
Publication number (International publication number)：2016161331
Application date： Feb. 27, 2015
Publication date： Sep. 05, 2016
Summary：
【課題】被検査体の凹凸を精度よく検出する。【解決手段】カメラで撮像した画像データに基づいて被検査体の測定領域内の測定点Tの面法線ベクトルを算出し、面法線ベクトルを内積する位置を示す算定点IPおよび当該算定点IPに対応する基準点M1を定めた指標値設定フィルタFRの算定点を測定領域L内の測定点Tに合わせて、算定点IPに一致する測定点Tの面法線ベクトルを内積することで基準点M1に対応する指標値を算出する。このとき、指標値を算出する毎に、指標値設定フィルタFRの算定点IPを合わせる測定点Tを変更して変更毎の基準点M1に対応する指標値を算出することで、当該測定領域Lの各座標に対応する指標値を特定し、測定領域Lにおいて基準範囲から外れた指標値に対応する座標を特定することで被検出体の凹凸位置を検出する。【選択図】図10
Claim (excerpt)：
被検査体の凹凸を検査する表面検査装置であって、 前記被検査体の測定領域に光を照射する光照射部と、 前記光照射部により光を照射した状態で前記被検査体を撮像して測定領域の画像データを取得する撮像手段と、 前記撮像手段が撮像した画像データに基づいて前記測定領域内の測定点の面法線ベクトルを算出する面法線ベクトル算出手段と、 前記面法線ベクトル算出手段が算出した面法線ベクトルを内積することにより指標値を算出する指標値算出手段と、 前記指標値算出手段により算出された指標値に基づいて測定領域内の凹凸位置を特定する座標特定手段とを備え、 面法線ベクトルを内積する位置を示す算定点および当該算定点に基づいて算出される指標値が対応する基準点を定めた指標値設定フィルタが設定されて、 前記測定領域内の測定点において前記指標値設定フィルタの算定点を合わせる測定点を順に変更して、変更毎の算定点に一致する判定点の面法線ベクトルを内積することで対応する基準点の指標値を前記指標値算出手段が算出することにより、指標値の算出毎に基準点が位置する測定領域の座標と当該座標の指標値を特定するよう構成され、 前記指標値算出手段により算出された指標値の内で、基準範囲から外れた指標値に対応する前記測定領域の座標を前記座標特定手段が特定するよう構成された ことを特徴とする表面検査装置。
IPC (3)：
G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G01B 11/00
FI (3)：
G01B11/30 A ,  G01N21/88 J ,  G01B11/00 H
F-Term (34)：
2F065AA03 ,  2F065AA35 ,  2F065AA49 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF05 ,  2F065FF41 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA07 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051EA14 ,  2G051EC05 ,  2G051ED23
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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