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J-GLOBAL ID：201603009639533563

回折光学部材

Inventor：
ジョシュア エリオット ローゼンバーグ

About ジョシュア エリオット ローゼンバーグ


Applicant, Patent owner：
ノースロップ グラマン システムズ コーポレイション

About ノースロップ グラマン システムズ コーポレイション


Agent (3)： 恩田 誠 ,  恩田 博宣 ,  本田 淳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016036014
Publication number (International publication number)：2016118805
Application date： Feb. 26, 2016
Publication date： Jun. 30, 2016
Summary：
【課題】より高い効率を達成でき、性能を低下させずにエッチング後の追加層の蒸着を可能にする回折光学部材を提供すること。【解決手段】透過性または反射性の回折光学部材は、上面を有した基板を備える。上面は、パターンを有するようにエッチングされる。前記パターンは、入射光ビームが上面に照射される場合に、入射光ビームが複数の回折光ビームに分離されるように形成された、周期的な溝の表面パターンを備える。複数の回折光ビームは、複数の第1回折ビームと、複数の第2回折ビームとを含む。第1回折ビームは、90%を超える第1総計効率を有する。複数の第2回折ビームは、10%未満の第2総計効率を有する。第1回折ビームの最大パワーと最小パワーは、第1回折ビームの平均パワーの少なくとも10%だけ異なる。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
上面を有した光反射性基板を備え、前記上面は、パターンにエッチングされ、前記パターンは、定数である幅Wをそれぞれ有した周期的な溝の表面パターンを含み、前記周期的な溝の表面パターンにおける前記溝はいずれも前記幅Wを有し、前記幅Wはすべての前記溝に亘って一定であり、 前記パターンは、連続的な深さプロファイルh(x)を有し、xは、前記幅Wに亘って変化する幅方向の座標であり、 前記パターンは、波長λを有した入射光ビームが前記光反射性基板の上面に照射される場合に、前記入射光ビームが反射され、複数の回折光ビームに分離されるように形成され、 前記複数の回折光ビームは、複数の第1回折ビームと、複数の第2回折ビームとを含み、 前記複数の第1回折ビームは、前記入射光ビームのパワーの90%以上のパワーを合計で有する最小の回折次数の複数の回折光ビームとして選択され、 前記複数の第2回折ビームは、前記回折光ビームから前記複数の第1回折ビームを除いた全てとして選択され、 前記複数の第1回折ビームは、90%以上の結合効率ηを提供するように選択され、 前記結合効率ηは、下記の[数1]に等しく、 Piは、i番目の回折光ビームのパワーであり、 iは、前記回折光ビームの回折次数を表わす整数であり、 前記回折次数1,2,...Nは、前記第1回折ビームに対応する、 反射性回折光学部材。
IPC (1)：
G02B 5/18
FI (1)：
G02B5/18
F-Term (7)：
2H249AA02 ,  2H249AA03 ,  2H249AA07 ,  2H249AA13 ,  2H249AA37 ,  2H249AA53 ,  2H249AA64
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (7)
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