DLC膜形成方法及びDLC膜形成装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：三木久巳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014161659
Publication number (International publication number)：2016037637
Application date： Aug. 07, 2014
Publication date： Mar. 22, 2016
Summary：

【課題】本発明は、水素フリーで高硬度を有すると共に耐熱性に優れ、基材に対する好適な膜特性を有するDLC膜を基材に形成すること目的としている。【解決手段】本発明は、ガス導入しない真空雰囲気下に設定された固体又は液体からなる2個以上の蒸発源を蒸発させて生成された蒸発物質により対象物の表面に被膜を形成する被膜形成方法であり、少なくとも1個の蒸発源が炭素を含有する固体の主蒸発源2であり、少なくとも1個の蒸発源が炭素以外の常温で気体でない他元素からなる副蒸発源3であり、前記主蒸発源2の主蒸発物質を発生させる方法が真空アーク、フィルタードアーク又はレーザー蒸発であり、1種以上の前記他元素を含有したDLC膜を対象物の表面に形成するDLC膜形成方法及びDLC膜形成装置である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ガス導入しない真空雰囲気下に設定された固体又は液体からなる2個以上の蒸発源を蒸発させて生成された蒸発物質により対象物の表面に被膜を形成する被膜形成方法であり、少なくとも1個の蒸発源が炭素を含有する固体の主蒸発源であり、少なくとも1個の蒸発源が炭素以外の常温で気体でない他元素からなる副蒸発源であり、前記主蒸発源の主蒸発物質を発生させる方法が真空アーク、フィルタードアーク又はレーザー蒸発であり、1種以上の前記他元素を含有したDLC膜を対象物の表面に形成することを特徴とするDLC膜形成方法。

IPC (2)：

C23C 14/24 , C23C 14/06

FI (4)：

C23C14/24 F , C23C14/06 F , C23C14/24 C , C23C14/24 T

F-Term (14)：

4K029AA02 , 4K029AA04 , 4K029BA34 , 4K029BB10 , 4K029BC02 , 4K029BD04 , 4K029CA01 , 4K029CA03 , 4K029CA13 , 4K029DB02 , 4K029DB17 , 4K029DB21 , 4K029DD06 , 4K029EA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

プラズマ表面処理方法、プラズマ処理装置及び目的物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-234933 Applicant：国立大学法人豊橋技術科学大学, 株式会社オンワード技研
自己修復性硬質固体潤滑膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-037260 Applicant：住友電気工業株式会社
摺動部品およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-239554 Applicant：三宅正二郎, 光洋精工株式会社

Show all

Return to Previous Page