摺動部品およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：岸本瑛之助 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993239554
Publication number (International publication number)：1995090553
Application date： Sep. 27, 1993
Publication date： Apr. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】基材とDLC膜との密着性を向上させるとともに、摩擦特性を向上させる。基材とDLC膜との熱膨張率の差を混合層で吸収する。【構成】基材1の表面にDLC膜2が形成されている摺動部品である。基材1とDLC膜2との界面部分に、炭素原子3と注入原子4との混合層5を形成する。

Claim (excerpt)：

基材の表面に硬質カーボン膜が形成されている摺動部品であって、基材と硬質カーボン膜との界面部分に、炭素原子と注入原子との混合層が形成されている摺動部品。

IPC (4)：

C23C 14/22 , C23C 14/48 , C23C 16/26 , C23C 16/56

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

ダイヤモンド状被膜形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-314732 Applicant：三洋電機株式会社
特開平3-140459
特開平3-274269

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