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J-GLOBAL ID:201603014201997862

光学フィルタ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  三輪 正義
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2015008719
Publication number (International publication number):2016133658
Application date: Jan. 20, 2015
Publication date: Jul. 25, 2016
Summary:
【課題】フィルタ機能を発揮する波長帯域を広げることが可能な光学フィルタを提供する。【解決手段】光学フィルタ3は、スリット13を介して複数に分割されたフィルタ片14を有する機能部7を備え、少なくとも各フィルタ片の表面は貴金属層15で覆われており、各フィルタ片は、スリット間隔が可動可能に支持されていることを特徴とする。これにより、プルイン現象やプロセス上の制約を従来に比べて抑制することができ、従来のファブリペローフィルタに比べて可動範囲を適切に広げることができる。その結果、従来に比べて光学フィルタにて取り出すことができる光の波長帯域を広げることができる。【選択図】図2
Claim (excerpt):
スリットを介して複数に分割されたフィルタ片を有する機能部を備え、 少なくとも各フィルタ片の表面は貴金属層で覆われており、 各フィルタ片は、スリット間隔が可動可能に支持されていることを特徴とする光学フィルタ。
IPC (2):
G02B 26/00 ,  G01N 21/350
FI (2):
G02B26/00 ,  G01N21/3504
F-Term (23):
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059CC05 ,  2G059CC06 ,  2G059EE01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ13 ,  2G059KK09 ,  2H141MA21 ,  2H141MB17 ,  2H141MB29 ,  2H141MB62 ,  2H141MC07 ,  2H141MD03 ,  2H141MD05 ,  2H141MD32 ,  2H141MD40 ,  2H141ME09 ,  2H141MF06 ,  2H141MF10 ,  2H141MG10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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