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J-GLOBAL ID：201702235715032558   Reference number：17A0848473

Single-crystalline epitaxial platinum film on yttrium-stabilized zirconia (111) prepared by sputtering deposition

スパッタリング法により作製したイットリア安定化ジルコニア(111)上の単結晶エピタキシャル白金膜

Author (2)： TANAKA Hiroyuki (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TANIGUCHI Masateru (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 55  Issue： 12  Page： 120304.1-120304.4  Publication year： Dec. 2016 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *sputtered deposition ,  *Platinum ,  metallic thin film ,  substrate (plate) ,  ceramics ,  yttrium oxide ,  zirconium oxide ,  single crystal ,  *heteroepitaxy ,  sputtering ,  *heat treatment ,  *surface roughness ,  *plasma exposure ,  YSZ (ceramic)
Semi thesaurus term： yttria stabilized zirconia ,  プラズマアシストスパッタリング

JST classification (1)： Metallic thin films  (BK14030T)

Reference (17)：

• G. Beck, C. Bachmann, R. Bretzler, and R. Kmeth, Mater. Chem. Phys. 158, 107 (2015).
• G. Beck, H. Fischer, E. Mutoro, V. Srot, K. Petrikowski, E. Tchernychova, M. Wuttig, M. Ruhle, B Luersen, and J. Janek, Solid State Ionics 178, 327 (2007).
• R. G. Musket, W. McLean, C. A. Colmenares, D. M. Makowiecki, and W. J. Siekhaus, Appl. Surf. Sci. 10, 143 (1982).
• G. Beck and J. Janek, Solid State Ionics 227, 57 (2012).
• G. Beck and C. Bachmann, Solid State Ionics 262, 508 (2014).

Terms in the title (7)： スパッタリング法 ,  作製 ,  イットリア安定化ジルコニア ,  単結晶 ,  エピタキシャル ,  白 ,  金膜