Art

J-GLOBAL ID：201702263248241356   Reference number：17A1810385

Comparison of mechanical characteristics of focused ion beam fabricated silicon nanowires

集束イオンビーム加工シリコンナノワイヤの機械的特性の比較

Author (6)： INA Ginnosuke (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  FUJII Tatsuya (Akita Prefectural Univ., Akita, JPN) ,  KOZEKI Takahiro (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  MIURA Eri (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  INOUE Shozo (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  NAMAZU Takahiro (Aichi Inst. of Technol., Aichi, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 56  Issue： 6S1  Page： 06GN17.1-06GN17.6  Publication year： Jun. 2017 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： focused ion beam ,  *nanowire ,  *mechanical property ,  damage(loss) ,  sample size ,  tensile test ,  MEMS ,  Young's modulus ,  crystallinity ,  scanning electron microscope ,  fracture strength
Semi thesaurus term： *silicon nanowire

JST classification (2)： Other fiber manufacturing and yarn processing  (YM03050G) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Terms in the title (3)： 集束イオンビーム ,  シリコンナノワイヤ ,  機械的特性