光学部材およびこれを使用した照明装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：特許業務法人SSINPAT
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011241325
Publication number (International publication number)：2012123371
Patent number：6057272
Application date： Nov. 02, 2011
Publication date： Jun. 28, 2012
Claim (excerpt)：

【請求項1】光を透過させる透明基材の少なくとも一方の表面に、断面が矩形状の構造体を複数形成した光学部材であり、前記矩形状の構造体が、下記条件1)〜5)を満たす構造体の群であることを特徴とする光学部材。 1)m番目の構造体の群の幅(μm):dm=r(m)-r(m-1) 2)m番目の構造体の幅を任意の数に分割した幅(μm): gm=dm/xm (xmはm番目の構造体において、1以上の任意の整数を表す。) 3)m番目の構造体に相当する位置におけるi番目の高さ(μm): Tm(i)={T/(xm-1)}・(i-1) (Tは前記矩形状の構造体の高さを表し、iは1〜xmの整数を表す。) 4)m番目の構造体の群に存在するi番目の構造体のデューティー比: tm(i)=1-Tm(i)/T 5)m番目の構造体の群に存在するi番目の構造体の幅:tm(i)・gm(ここでm番目の構造体の群に存在する各構造体の各幅は、光学部材の中心に向かうほど狭くなる。)

IPC (3)：

G02B 3/08 ( 200 6.01) , F21V 5/00 ( 201 5.01) , F21V 5/04 ( 200 6.01)

FI (4)：

G02B 3/08 , F21V 5/00 510 , F21V 5/04 450 , F21V 5/04 650

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

照明装置および表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-318585 Applicant：ソニー株式会社
光学素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-290875 Applicant：日本電信電話株式会社
マスクおよびその製造方法、光学素子およびその製造方法、並びに該光学素子を備えた照明光学装置および露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-133494 Applicant：株式会社ニコン

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