液中プラズマ処理装置及び液中プラズマ処理方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：特許業務法人平和国際特許事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013054705
Publication number (International publication number)：2014180588
Patent number：6202424
Application date： Mar. 18, 2013
Publication date： Sep. 29, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】液体中でプラズマを発生させてナノ粒子を生成する液中プラズマ処理装置であって、前記液体を収めるための容器と、パルス状マイクロ波電力を出力するマイクロ波発振器と、一部が前記液体に浸漬されるとともに、前記液体中に前記プラズマを発生させるために、前記マイクロ波発振器から出力された前記パルス状マイクロ波電力を前記液体に与える電極であって、前記プラズマ中で加熱され蒸発して前記ナノ粒子となる材料で形成された電極とを備え、加熱により前記液体が気化して気泡が発生している状態を維持するように、前記パルス状マイクロ波電力のパルス周波数を500Hz以上とし、前記気泡が膨張と収縮を繰り返すように、前記パルス状マイクロ波電力のパルス幅をパルス幅変調により周期的に変化させる変調部を備えることを特徴とする液中プラズマ処理装置。

IPC (5)：

B01J 19/08 ( 200 6.01) , B22F 9/14 ( 200 6.01) , B82Y 30/00 ( 201 1.01) , H05H 1/24 ( 200 6.01) , B82Y 40/00 ( 201 1.01)

FI (6)：

B01J 19/08 E , B22F 9/14 Z , B01J 19/08 K , B82Y 30/00 , H05H 1/24 , B82Y 40/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

液中プラズマ発生方法、液中プラズマ発生装置、被処理液浄化装置及びイオン液体供給装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-024084 Applicant：株式会社栗田製作所
中空微粒子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-030227 Applicant：国立大学法人東北大学, トーヨーエイテック株式会社
ナノ粒子及びマイクロ粒子の製造方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2006-526004 Applicant：ナフムパランスキ, レイモンドレオンボックスマン

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