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J-GLOBAL ID：201703012450801697
磁気研磨装置及び磁気研磨方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山田 毅彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015239787
Publication number (International publication number)：2017104926
Application date： Dec. 08, 2015
Publication date： Jun. 15, 2017
Summary：
【課題】平面や曲面等の面はもちろん、超微細孔の内面のように狭い空間を形成する面であっても磁気研磨法によって研磨できるようにすることである。【解決手段】実施形態に係る磁気研磨装置は、第1の磁極、第2の磁極及び移動機構を備える。第1の磁極は、磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に第1の磁力を与えるための磁極である。第2の磁極は、被研磨物体を間に挟んで配置され、前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるための磁極である。移動機構は、前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させることによって前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行う。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に第1の磁力を与えるための第1の磁極と、
被研磨物体を間に挟んで配置され、前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるための第2の磁極と、
前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させることによって前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行う移動機構と、
を備える磁気研磨装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (7)：
3C158AA07
, 3C158AA09
, 3C158CA04
, 3C158CB04
, 3C158CB07
, 3C158DA02
, 3C158DA11
Cited by examiner (5)
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