高周波超音波圧電素子、その製造方法、及びそれを含む高周波超音波プローブ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (2)：井関勝守 , 金子修平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015126268
Publication number (International publication number)：2017011144
Application date： Jun. 24, 2015
Publication date： Jan. 12, 2017
Summary：

【課題】高精細な超音波画像を得ることを可能にする高周波数で送受可能な圧電素子と、その製造方法を提供する。【解決手段】下部電極11を準備し、下部電極11の上に、ゾルゲル溶液と圧電粉末とを含む複合体をスプレー法により塗布する。その後、塗布された複合体を焼結して圧電膜12を形成する。圧電膜12の上にマスク層13を配設し、マスク層13に圧電膜12を露出する複数の開口部14を形成する。次に、圧電膜12及びマスク層13の上に上部電極15を形成し、その後、マスク層13を除去することにより、開口部14内の圧電膜12の上にのみ上部電極15を残存させる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

下部電極を準備するステップと、前記下部電極の上に、ゾルゲル溶液と圧電粉末とを含む複合体をスプレー法により塗布し、前記塗布された複合体を焼結して圧電膜を形成するステップと、前記圧電膜の上に上部電極を形成するステップとを備えていることを特徴とする高周波超音波圧電素子の製造方法。

IPC (7)：

H01L 41/318 , H01L 41/29 , H01L 41/43 , H01L 41/09 , H01L 41/047 , H04R 31/00 , H04R 17/00

FI (9)：

H01L41/318 , H01L41/29 , H01L41/43 , H01L41/09 , H01L41/047 , H04R31/00 330 , H04R17/00 330H , H04R17/00 332B , H04R17/00 330A

F-Term (17)：

4C601EE12 , 4C601EE14 , 4C601GB02 , 4C601GB03 , 4C601GB41 , 4C601GB47 , 5D019AA07 , 5D019AA26 , 5D019BB02 , 5D019BB12 , 5D019BB19 , 5D019BB25 , 5D019BB26 , 5D019BB30 , 5D019FF04 , 5D019HH01 , 5D019HH02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

金属酸化物膜付き基板及び金属酸化物膜付き基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-188212 Applicant：日本特殊陶業株式会社
超音波センサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-127437 Applicant：日立GEニュークリア・エナジー株式会社
圧電体素子の製造方法、圧電体素子及びインクジェット式記録ヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-275600 Applicant：キヤノン株式会社, 富士化学株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

小特集-近年の音響トランスデューサの研究と動向-ゾルゲル複合体超音波トランスデューサ

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