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J-GLOBAL ID:201703017517305993
化学センサおよび化学センサの製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
岡 健司
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2012249930
Publication number (International publication number):2014098607
Patent number:6062218
Application date: Nov. 14, 2012
Publication date: May. 29, 2014
Claim (excerpt):
【請求項1】導電性の基板層と、
検出表面としてのリン酸塩を主成分とする薄膜結晶層と、
前記基板層と前記薄膜結晶層との間に設けた中間層を備える化学センサであって、
前記中間層のうちの少なくとも1つに酸化亜鉛を主成分とする中間層を備えることを特徴とする化学センサ。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
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